真空泵系統的工藝要求
涂布機:廣泛應用于塑料、工藝禮品、包裝、光學、電子、玩具、建材、五金、鐘表、珠寶、汽車等行業。涂布機的銷售范圍遍及全國。在運營流程上,從原材料采購、設備制造、運營管理、技術人員現場安裝調試到售后服務,形成了有序完善的質量管理體系。爐體可用不銹鋼、碳鋼或其組合材料制成。根據工藝要求,選用不同規格型號的鍍膜設備,包括電阻蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、磁控反應濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等,有旋轉、旋轉和旋轉+旋轉夾具操作的模式。用戶可根據基板的尺寸和形狀提出相應的要求。轉速范圍及精度:普通可調及變頻調速。
真空泵系統由機械泵、擴散泵、油增壓泵、膨脹泵、羅茨泵、坩堝輪分子泵等及各種配套的氣動、手動、電動閥門、管路等組成,根據工藝要求,選擇電鍍方法和形式,如電阻蒸發(鎢絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲、不銹鋼絲,鉬舟、石墨舟)磁控管源(同軸圓柱形磁控管源、圓柱形平面磁控管源、矩形平面磁控管源等)、多弧源靶材及尺寸(Ф60、Ф80直徑靶材、氣動、電引弧等)、數字式智能真空計及其測量調節可選擇用于真空測量,其應用可用于測量儀器,如自動壓力控制器等。膜的厚度可通過平方電阻計、透射率計等質量流量計進行測量,充電方式可選擇轉子流量計+針閥和相應的充電閥,并可選擇多通道充電管路和相應的流量參數。根據烘烤結構,提出了烘烤溫度、烘烤材料及相應的烘烤儀器。根據設備的特點,可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。真空室本體、擴散泵缺相、缺水、氣壓、電力負荷過壓、過流等異常情況聲光報警。
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